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等离子体表面处理仪的特点介绍

发布时间:2022-09-22      点击次数:58
等离子体表面处理仪可用于消除固体表面的有机污染物,如:金属、陶瓷、玻璃、硅片等等,同时也可以对样品表面进行处理,改善样品表面的特性,如亲水/疏水特性,表面自由能,以及表面的吸附/粘附特性等等。  
主要特点:  
(1)采用电容耦合电极设计(USPatent.4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511),低失真、高效率的特性,保证了样品室内等离子体分布的均一性;  
(2)采用自动调频高频发生器,保证了等离子体发生的稳定性和有效性;  
(3)采用高精度的流速控制和压力控制部件,保证了气体的高重现性混合和分布;  
(4)采用软件控制,确保控制的方便有效和实时监控;  
(5)一体化的高真空系统,确保了操作的方便性和稳定性;  
(6)多种样品室可供选择,如耐热玻璃和石英等,更能满足广大客户的需求多;  
(7)体积小,可远程操作,多种安全保护,保证操作的安全和方便;  
(8)样品室和功率设计合理,可满足绝大部分科研需要;  
(9)全自动操作,方便可靠。
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